سیستم های میکرو الکترو مکانیکی (MEMS) نوعی سیستم هستند که اندازه فیزیکی خیلی کوچکي دارند. این سیستمها دارای اجزای الکتریکی و مکانیکی هستند. هرچند که بعضی اوقات دارای قسمتهای غیر متحرک غیر الکترونیکی ( مثل قسمتهای شیمیایی، بیو شیمیایی و نوری ) نیز هستند. برای ساخت این ادوات خیلی کوچک، از تکنیک ها و موادی که در ساخت مدارهای مجتمع بکار می روند، استفاده می شود.
همان طور که در شکل 1 – 1 مشاهده می شود، MEMS در واقع یک پل بین رشته های میکرو الکترونیک و مکانیک است.و وسیله ای برای برقراری ارتباط و برهمکنش بین دنیای الکترونیک و دنیای اطراف است.
MEMS اصطلاحی است که اولین بار در اواخر دهه 1980 در آمریکا برای نامیدن این سیستم ها معمول شد. این رشته از تکنولوژی، در اروپا به Microsystems و در ژاپن به Micromechartonics معروف است. با وجود این هنوز بر سر معنای این اصطلاح اتفاق نظر وجود ندارد. به هر حال تصویری که از MEMS وجود دارد، یک واحد کامل است که هم قسمتهای الکتریکی و هم میکرو ساختارهای مکانیکی دارد. اندازه این اجزاء نیز بین چند نانومتر تا چند میلی متر متفاوت است، بعضی میگویند که اندازه یک واحد MEMS باید کمتر از یک سانتی متر مکعب باشد. اما این تعریف، هنوز مبهم و ناقص است. چیزی که در مورد ادوات MEMS مشترک است، این است که آنها در مقایسه با ماشین های عادی، یک یا چند تا از این ویژگی ها را در کوچک سازی سیستم (Miniaturization) دارند: تعداد اجزاء، پیچیدگی کار، مجتمع سازی سیستم و قابلیت تولید انبوه.
موج MEMS با توسعه تکنولوژی میکرو ماشینینگ سیلیکونی به پیش می رود. تکنولوژی میکرو ماشینینگ سیلیکونی در بیشتر موارد از تکنولوژی Micro fabrication استفاده می کند، که همان تکنولوژی ساخت مدارهای مجتمع است