مقدمه پيدايش ميكروسكوپهاي الكتروني عبوري (TEM) به صورت تجاري به سال 1940 بازميگردد، اما از سال 1950 به بعد بود كه كاربردهاي گستردهاي در بررسي فلزات پيدا نمودند. مهمترين عامل كاهنده در كاربرد TEM مطالعه فلزات در آن سالها به مشكلات تهيه نمونه مربوط ميشد. اما امروزه با توجه به روشهاي گوناگون تهيه نمونه فلزات، اين نوع ميكروسكوپها جايگاه خاصي را در ميان متخصصين مواد و متالوژي براي خود ايجاد نموده و باعث بروز نقطه عطف بسياري از پژوهشها و تحقيقات گشته، به آنها سرعت فراواني دادهاند. امروزه ميكروسكوپ الكتروني عبوري امكان مطالعه موارد متنوعي در مواد گوناگون نظير ويژگيهاي ريزساختاري مواد، صفحات و جهات بلوري، نابجاييها، دوقلوييها، عيوب انباشتگي، رسوبها، آخالها، مكانيزمهاي جوانهزني، رشدو انجماد، انواع فازها و تحولات فازي، بازيابي و تبلور مجدد، خستگي، شكست، خوردگي و … را فراهم آوردهاست. در كل قابليتهاي امروزي TEM را ميتوان مرهون چهار پيشرفت زير دانست كه دوتاي آنها در ساختمان دستگاه و دوتاي ديگر در نحوه تهيه نمونه حاصل شدهاند: استفاده از چند عدسي جمعكننده پراش الكتروني سطح انتخابي نازككردن نمونهها براي تهيه نمونههاي شفاف در برابر الكترونها تهيه نمونه به روش ماسكبرداري در بررسي مواد، ميكروسكوپ الكتروني عبوري داراي سه مزيت اصلي ذيل است: 1- قابليت دسترسي به بزرگنماييهاي بسيار بالا (حتي بيش از يك ميليون برابر) به دليل بهكارگيري انرژي بالي الكترونها و در نتيجه طول موج كمتر پرتوها. 2- قابليت مشاهد ساختمان داخلي فلزات و آلياژها به دليل قدرت عبور الكترونهاي پر انرژي از نمونه نازك. 3- قابليت بررسي سطوح انتخابي نمونه به دليل وجود حالت بررسي با پراش الكترونها. مقايسه TEM با OM به طوور كلي ميكروسكوپ الكتروني عبوري (TEM) مشابه ميكروسكوپ نوري (OM) است با اين تفاوت كه در آن به جاي نور با طول موج حدود Å 5000 از الكترونهايي با طول موج حدود Å 05/0 براي روشن كردن نمونه استفاده ميشود.